- 蚀刻均质性
- etch: vt. 1.蚀刻，浸蚀。 2.刻划，描述。 3.铭刻。 ...
- uniformity: n. 1.一样，一律，一式，划一，一致。 2.均匀；无变 ...
- uniformity: n. 1.一样，一律，一式，划一，一致。 2.均匀；无变化，单调。
- etch: vt. 1.蚀刻，浸蚀。 2.刻划，描述。 3.铭刻。 vi. 进行蚀刻。 n. 腐蚀剂，蚀刻剂。 mass etch (晶体的)粗蚀。
- coefficient of uniformity uniformity: coefficient土的物理性质不均匀系数
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